从20吨到100吨，从KrF到ArF，国产高端光刻胶树脂已从“验证通过”走到“批量供货”。

芯片制造里，光刻机是明面上的难关。

但还有一种材料，藏在光刻胶里，却决定光刻胶的性能，长期被海外巨头把持——光刻胶树脂。它不像光刻机那样常上头条，却同样能卡住一条产业链。

杭州翰亚微电子科技有限公司，正在把这道题解出来。

据介绍，翰亚微电子是国内唯一能够研发并量产全系列半导体光刻胶树脂的企业。产品覆盖高端KrF（248nm）、ArF（193nm），并对下一代EUV（13.5nm）进行前瞻性技术储备。现有年产能20吨，扩产后将达到100吨。

更关键的是，它不是初期的实验室研发，而是已经走进了Fab厂产线。

 

01 不是“做出来”，而是“用起来”

 

2026年，翰亚交出了一份亮眼的成绩单：

· 10余款KrF树脂产品，经过多年验证，终于通过国内多家头部光刻胶客户的严苛光刻性能验证，成功进入国内领先逻辑芯片与存储芯片Fab厂的供应链体系；

· 产品性能匹配目前Fab厂正在使用的进口日美光刻胶树脂，实现国产替代；

· 数款ArF光刻胶树脂正在配合客户进行光刻性能改进与批次稳定性验证；

这意味着什么？

· 光刻胶树脂的客户验证周期通常长达3—5年。能通过验证，说明技术过关；能进入Fab供应链，说明产品被真正认可；能形成稳定量产和稳定销售收入，说明国产替代已经实现。

· 10+：不只单一牌号通过客户验证

· 20吨→100吨：现有年产能满足国内需求

· 全系列：KrF/ArF/EUV全覆盖

在光刻胶树脂这个领域，这几步，每一步都不轻松。

 

02 凭什么替代日本产品？

 

答案就五个字：全面国产化。

这几款实现替代的产品，不只是性能对标进口产品，更关键的是——生产设备和核心原料全部实现了国产化。

这带来两层价值。

一是成本优势。摆脱对海外设备、原料的依赖后，综合制造成本大幅下降，产品在价格上有了底气。

二是供应链自主可控。不用看别人脸色，供应保障能力掌握在自己手里。

这正是国内光刻胶产业链上游最需要解的一道题。下游光刻胶厂和晶圆厂，终于有了一个性能可靠、供应稳定、成本更优的国产选择。

翰亚微电子相关负责人表示，产品能够在Fab厂实现对进口日本树脂的全面替代，且设备与原料全面国产化——这既是技术能力的证明，也是供应保障能力的体现。

 

03 不止KrF：ArF在Fab验证，EUV提前卡位

 

翰亚并没有躺平在KrF的成果上。

在KrF产品率先放量的同时，ArF光刻胶树脂也已经进入客户验证的关键阶段。与此同时，公司还把触角伸向更先进制程：EUV光刻胶树脂已做前瞻性技术储备，持续攻坚海外巨头长期构筑的技术壁垒。

随着先进制程往5nm及以下节点推进，EUV光刻技术的地位会越来越重要。作为EUV光刻胶核心的树脂材料，技术门槛和战略价值只会越来越高。

翰亚提前卡位，等于给未来埋下一条更深的技术护城河。

 

04 团队和资本，说明这不是孤军奋战

 

一家公司能做成这件事，背后得有人。

翰亚微电子创始人张博士，本人就是技术出身。核心团队主要由海外归国人员组成，既有国外著名高校博士学历，也有在国外一流半导体材料企业长期做产品开发和生产管理的实战履历。

说白了，这是一支“带着经验回国创业”的队伍，从一开始就奔着产业化去，而不是只停在实验室。

在第十届“创客中国”创新创业大赛总决赛上，翰亚微电子凭借“高端半导体光刻胶核心树脂产业化”项目，从全省2598个参赛项目中脱颖而出，拿下：

· 浙江赛区第一名（创业组一等奖）

· 全国总决赛第二名

资本也在入局。

近日，在杭州技术转移转化中心与临江高科园的联合推动下，浙江鼎龙科技股份有限公司以1500万元战略入股翰亚微电子，正式切入高端半导体材料赛道。

鼎龙科技在精细化工及高纯单体领域深耕多年。这次入股，双方要打通的是“单体—树脂—光刻胶”这条产业链的关键环节。上游原材料和光刻胶树脂之间的协同保障能力一强，整条供应链的稳定性和自主可控水平随之提升。

此前，翰亚已完成种子轮融资，顺为资本等机构参与。

技术、团队、产业资本，正在往同一个方向汇合。

 

05 产能从20吨到100吨，为放量铺路

 

订单在涨，产能当然要跟上。

目前，翰亚已建成高端光刻胶树脂产线并稳定运行，现有年产能20吨，具备批量化生产及供货能力。面对下游持续增长的需求，公司正在积极扩建产能，扩产后年产能将达到100吨。

从20吨到100吨，就是为下一阶段的放量提前铺路。

国产替代，从来不是一句口号。

它是一款款树脂通过验证，是一条条产线跑稳，是一家家企业把供应链握回自己手里。

从KrF稳定放量，到ArF验证，再到EUV前瞻卡位，翰亚微电子已经迈过最关键的几个台阶。

这家“国内唯一”的企业，一步一个脚印，故事才刚刚开始。